Balzers BA510 Sputron sputterinstallatie met handmatige belading  

Retrofit (revisie) van een bestaande Balzers BA-510 sputron sputterinstallatie waarbij de specifieke wensen van de gebruiker zijn geïmplementeerd. Alle mechanische componenten zijn, waar nodig, gereviseerd en het vacuümpomp-systeem is compleet vervangen door een koolwaterstofvrij pompsysteem met Aquatrap baffle. De handbediende besturing is vervangen door een volledig automatische besturingssysteem en proces-bewaking op basis van National Instruments Fieldpoint.
De bediening vindt plaats door middel van een industriële PC met 17” touchscreen en een speciaal ontworpen LabView user interface. Alle relevante procesparameters worden in een logfile gearchiveerd. De installatie is voorzien van een koud en warm watercircuit ten behoeve van het conditioneren en koelen.

 Leybold Z590 horizontale sputterinstallatie met automatische cassette - cassette robot belading

Levering van een nieuwe geretrofitte (gereviseerde) Leybold Z-590 sputterinstallatie voorzien van een automatische van cassette naar cassette belading door middel van een robot. Het systeem bestaat nagenoeg geheel uit nieuwe onderdelen en is voorzien van een koolwaterstofvrij pompsysteem met LN2 baffle, DC/RF-voedingen ten behoeve van de sputtertargets en bias-sputteren. De sputterinstallatie is voorzien van volledig automatisch besturingssysteem en proces-bewaking op basis van een Siemens PLC . De bediening vindt plaats door middel van een desktop PC plus 17” TFT scherm en speciaal ontworpen WinCC user interface. Alle relevante procesparameters worden in een logfile gearchiveerd. De sputter-installatie is voorzien van een speciaal gesloten koud- en warm waterunit, die geïntegreerd is in de machinebesturing.

 Leybold ZV1200 verticale 'inline' sputterinstallatie

Levering van een compleet geretrofitte (gereviseerde) Leybold ZV-1200 verticale 'inline' sputter-installatie; single ended of met carrier-return voorziening, compleet met sputterprocessen. Voorzien van load-lockkamer met verwarmingselementen voor het conditioneren van de substraten. Geschikt voor DC- en RF-sputteren. De sputterinstallatie is voorzien van volledig automatisch besturingssysteem en procesbewaking op basis van een Siemens PLC .

De bediening vindt plaats door middel van een desktop PC plus 17” TFT scherm en speciaal ontworpen WinCC user interface. Alle relevante procesparameters worden in een logfile gearchiveerd. De sputter-installatie is voorzien van een speciaal gesloten koud- en warm waterunit, die geïntegreerd is in de machinebesturing.

   
 Leybold A1100 opdampinstallatie

Retrofit en upgrade (revisie) van een bestaande Leybold A-1100 opdampinstallatie waarbij de verouderde, niet meer te servicen, besturing vervangen is. Het geheel systeem is compleet gereinigd en gereviseerd. Het koud- en warmwatercircuit is volledig vervangen. Het frame, het bedieningskabinet en de voorzijde zijn opnieuw gespoten in de huisstijl van de gebruiker. De opdampinstallatie is voorzien van volledig automatisch besturingssysteem en procesbewaking op basis van een Siemens PLC.
Het optisch meetsysteem en de kwartskristallaagdiktemeters zijn volledig geïntegreerd in de besturing. De bediening vindt plaats door middel van een industriële PC met 17” touchscreen en speciaal ontworpen WinCC user interface. Alle relevante procesparameters worden in een logfile gearchiveerd.

   
 Leybold/Balzers/BPS ZH-620 Emerald/Corona/Vanguard sputterinstallatie
Retrofit en upgrade van een bestaande ZH620 sputterinstallatie voorzien van een automatische van cassette naar cassette belading door middel van een robot. Bij dit systeem is de originele Kuhnke besturing van 1998 gehandhaafd. Hierin is wel het complete drukmeetsysteem vervangen door nieuwe Profibus meetsensoren met eigen PLC systeem. Het systeem is compleet gereinigd en gereviseerd. De draaidoorvoer is aangepast en geschikt voor bias/etching aan de substraattafel. Het pompsysteem is compleet gereviseerd en uitgebreid met twee CTI/Helix waterpompen. Er is een compleet nieuwe substraattafel ontworpen op basis van de nieuwe substraten. Hiervoor zijn ook de cassette module en robot wafer handler aangepast. Het systeem is verder uitgebreid met een extra RF matchbox en RF switch.