Coating & vacuümsystemen
Fergutec ontwerpt, levert en installeert coating en vacuumsystemen toegesneden op uw applicatie. Afhankelijk van uw toepassing, proces, budget en tijdschema adviseren wij een passende oplossing.

Fergutec biedt u zeer flexibele concepten:

  • MiniLab deposition systems
    compact multi-technology box coating concept voor thin film deposition in pilot line productie en R&D omgevingen

  • UniCoat deposition systems
    medium-large scale multi-technique box coating concept voor thin film deposition in R&D en productie omgevingen

  • SputterCoat sputter deposition systems
    dedicated batch sputtersystemen voor thin film deposition in R&D en productieomgevingen (optionele automatische belading)

  • UniHeat vacuum ovens/furnaces
    (hoog)vacuumoven concept; horizontale frontloader, verticale bottom- en toploader met volumes 10-150 liter

 

   
 

:: DC, RF, DC pulsed sputteren
:: thermisch opdampen
:: OLED (organics)
:: e-beam
:: vacuümovens
:: specials

   MiniLab - compact multi technique box coating concept  
 

MiniLab is een compacte "cost effective" multi technique box coater concept voor dunne laag depositie en hierdoor uitermate geschikt voor toepassing in R&D, multi-purpose experimenten en pilot line productieomgevingen

  • compact design, kleine footprint, capaciteit voor het coaten van grote substraten
  • zeer flexibele configuratie mogelijkheden, eenvoudig aanpassen en uitbreiden
  • e-beam & thermisch verdampen, sputteren of een combinatie van deze technieken
  • turbomoleculair en cryo pomp packages
  • complete range sample tooling, heating & cooling stages
  • codepositie opties
  • eenvoudige bediening door handmatige of volledig automatische processcontrol (PC/PLC)

De MiniLab is een nieuw concept in vacuum depositie, ontworpen door een ervaren team van designers met een achtergrond in UHV deposition technology. De MiniLab is een volledig geintegreerde compacte box coater en staat garant voor professionele resultaten.

Typische markten & applicaties: (precision) optics, OLED, multilayer optical coatings, data storage, ophthalmics, semiconductor, optoelectronics, electronic components, solar cells / photovoltaic, metallization, general vacuum coating R&D, speciale experimenten.

 Klik hier om de MiniLab pagina te bezoeken met meer informatie.

 
           
   UniCoat - medium / large scale multi-technique box coating concept  
 

picture available soon

UniCoat is het multi-technique concept welke verder gaat waar het MiniLab concept stopt. De ongeevenaarde combinatie van een box-type vacuumkamer van verschillende afmetingen en vormen in combinatie met een breed programma verschillende depositietechnieken en ondersteunde behandelingen, komen tegemoet aan nagenoeg iedere wens. De gebruiker kan kiezen uit een diversiteit aan sputterbronnen, thermische & OLED opdampbronnen, e-beam en ion-beam gebaseerde technieken. Afhankelijk van de wensen met betrekking tot substraatafmetingen, samenstelling van de dunne la(a)g(en) en budget, kan de gebruiker kiezen tussen vacuümkamers met afmetingen varierend in breedtes van 500 tot 1200mm.

De aard van de substraten en de aan te brengen la(a)g(en) bepalen de juiste keuze voor de uiteindelijke pvd 'physical vapour deposition' technieken; thermische, OLED of electron beam verdampen, diverse variaties sputtertechnieken of (pe)cvd '(plasma enhanced) chemical vapour deposition'. Naar wens is de temperatuur van de substraten volledig te controleren en te regelen; verwarmen of koelen. Sample stage opties zijn; plain disc platen (substraattafel), calottes of planetary stages. De UniCoat systemen zijn allen PLC gestuurd en hebben een gebruiksvriendelijke, customized HMI.

Typische markten & applicaties: (precision) optics, multilayer optical coatings, data storage, ophthalmics, semiconductor, optoelectronics, electronic components, solar cells / photovoltaic, decorative & wear (protective) coatings, OLED technology, metallization, general thin film depostion research & development.

 Klik hier om de UniCoat pagina te bezoeken met meer informatie.

 
           
   SputterCoat - dedicated sputtersysteem concept  
 

De SputterCoat kathode sputterseries is ontwikkeld voor het aanbrengen van dunne lagen in productie en onderzoekstoepassingen door middel van toegewijde sputtertechniek met name voor semiconductor, optoelectronics, display, optics, OLED, Solar/Photovoltaic en data storage applicaties. Te verkrijgen modellen:

  • SputterCoat 650: handbelading of manuele load lock met cilindervormige vacuümkamer;
    diameter 650mm en hoogte van 300mm
  • SputterCoat 850: handbediende load lock of automatisch cassette load lock
    met rechthoekig gevormde vacuümkamer; afmetingen: 850x850x450mm (bxdxh)

Het systeemconcept biedt de volgende eigenschappen:

  • inzetbaar voor verschillende technieken; DC, DC pulsed sputtering, high frequency sputtering, bias voltage, high frequency etching, high rate sputtering, reactive cathode sputtering.
  • 2 tot 6 stuks ronde (magnetron) sputterkathoden, afmetingen varierend tussen 75 - 250mm.
  • flexibele en uitgebreide configuratiemogelijkheden
  • standaard OEM componenten leverbaar voor ieder proces
  • 'cost effective' handbediend systeem of automatische productie clustertool
  • gemakkelijke bediening en fool proof

 Klik hier om de SputterCoat pagina te bezoeken met meer informatie.

 
           
   UniHeat - vacuumoven / furnace concept  
 

UniHeat is een zeer flexibel koudwandig (hoog)vacuümoven concept en beschikbaar in drie basis uitvoeringen, opgebouwd en geconfigureerd afhankelijk van uw applicatie: horizontale frontloader, verticale bottom- en toploader met volumes van 10 tot 150 liter. (tot ca. 1500 graden C.) Voor ultra hoge temperatuur applicaties (tot 3000 graden C.) zijn de volumes < 2 liter.

Typische markten & applicaties:

  • Degassing and conditioning
  • Brazing of metals and/or ceramics
  • Heat treatment, Annealing
  • Melting of high purity metals or alloys
  • Sintering of high purity ceramics
  • High temperature vacuum research
  • Wafer processing
  • Photovoltaic (Solar) technology

 Klik hier om de UniHeat pagina te bezoeken met meer informatie.

 

Specials
Naast bovengenoemde concepten kunt u bij Fergutec uitstekend terecht voor uw speciale wensen. Fergutec biedt advies en design van hoogvacuum en ultrahoogvacuum systemen. Fergutec biedt oplossingen voor plasma cleaning en ets, uhv en hv (coating) systemen, gasanalyse- en lekdetectiesystemen.

Gereviseerde en gebruikte systemen
Fergutec biedt een actueel aanbod gebruikte thin film depositie systemen. Deze systemen zijn leverbaar as-is of compleet gereviseerd en aangepast volgens uw wensen. Op de fergutec.com website vindt u het actuele aanbod gereviseerde en gebruikte systemen. Indien u specifiek op zoek bent naar een Leybold, Balzers of BPS systeem, vindt u op de fergutec.com website tevens een overzicht van de generatie Balzers, Leybold en BPS systemen die wij gebruikt of compleet gemoderniseerd en zelfs compleet nieuw geassembleerd toeleveren. De nieuw geassembleerde systemen voldoen aan de strenge eisen van hedendag en zijn voorzien van de nieuwste besturings- en vacuumtechniek.

 Klik hier om de fergutec.com website te bezoeken