UniCoat box coating concept

Het UniCoat concept is een "cost effective" multi technique box coater concept voor dunne laag depositie,
uitermate geschikt voor toepassing in R&D en productieomgevingen.

  • zeer flexibele configuratie mogelijkheden
  • e-beam, thermisch & OLED (organics) verdampen, sputteren, etsen of een combinatie van deze technieken
  • turbomoleculair, cryo, roots en oliediffusie pompcombinaties
  • complete range sample tooling, heating & cooling stages
  • capaciteit voor het coaten van grote substraten
  • codepositie mogelijkheden
  • volledig automatische process control (PC/PLC)

Als onafhankelijke system integrator is Fergutec vrij in het toepassen van OEM componenten. Hierbij houden wij indien gewenst rekening met eventuele standaardisatie op bepaalde merken binnen uw bedrijf. Door het beperken van onze 'overhead' kosten zijn wij in staat dit concept tegen een gunstige prijstelling in de markt te positioneren.


 
     
   UniCoat - omschrijving medium / large scale multi-technique box coating concept  
 


UniCoat concept leveringsomvang

Ieder UniCoat systeem bevat in basis minimaal de volgende componenten:

  • Hoogwaardige watergekoelde vacuümkamer, gemonteerd op robuust frame
  • Vacuümkamer met deur aan de voorzijde voorzien van kijkvenster
  • Voor- en hoogvacuümmeetsysteem
  • Vacuümpompsysteem, in overleg samengesteld op basis van uw applicatie
  • (PC)/PLC besturingssysteem met standaard of klantspecifieke HMI
  • één of meerdere 19" rack(s) t.b.v. het besturingssysteem, voedingen en en alle andere electrische componenten.


Vacuümkamer

De hoogwaardige rvs vacuümkamer is voorzien van watergekoelde wanden. Aan de voorzijde bevindt zich de laaddeur voorzien van kijkvenster met optionele shutter. Alle poorten in de kamer zijn nagenoeg vrij te kiezen op basis van applicatie en wensen. De kamer is voorzien van de noodzakelijke shielding. De beschikbare kamerafmetingen ( b x h x d in mm) zijn:

  • UniCoat500 : 500 x (500-750) x 600
  • UniCoat600 : 600 x (600-850) x 720
  • UniCoat750 : 750 x 950 x 900
  • UniCoat900 : 900 x 1100 x 1100
  • UniCoat1200 : 1200 x 1200 x 1400

Voor integratie in een cleanroomwand, zijn de vacuümkamers van de UniCoat series beschikbaar met een deur aan de cleanrooom zijde en een extra deur aan de greyroom zijde voor servicedoeleinden. Er is tevens een speciale UHV versie beschikbaar met ultra low ontgassingswaarden.


Vacuümpompsysteem en drukmeetsysteem

Afhankelijk van uw wensen, (evt. corrosieve) applicatie en de afmetingen van de vacuümproceskamer, is het UniCoat systeem voorzien van een turbomoleculair-, cryo of oliediffusie hoogvacuümpomp in verschillende capaciteiten of een combinatie hiervan. Indien noodzakelijk aangevuld met een rootsblower voor hoge pompcapaciteit in het middengebied. Het vacuümpompsysteem is additioneel uit te rusten met een Chevron baffle, LN2 of Polycold gekoelde Meissner trap en Aquatrap/Cryo Tiger.

De voorvacuümpomp (combinatie) stellen wij op basis van applicatie en budget zorgvuldig samen uit een selectie oliegesmeerde en droge, olievrije, opties met verschillende capaciteiten. In de meeste gevallen integreren we tevens een hoogvacuüm (regel)klep en voorvacuüm bypass circuit in het vacuumpompsysteem voor verhoging van het bedieningscomfort en procesmogelijkheden.

Een UniCoat systeem is doorgaans voorzien van minimaal een voorvacuüm en een hoogvacuüm drukmeter. Drukaflezing en bediening geschiedt via de HMI of de drukmeter controleunit in het 19" rack kabinet. Afhankelijk van de applicatie selecteren we de juiste (combinatie van) technologieen; Pirani, Penning, Bayard-Alpert en Baratron drukmeters.



Proces monitoring en systeem bediening

Afhankelijk van budget en applicatie heeft de gebruiker keuze uit 3 basis principes, welke in overleg met de gebruiker klantspecifiek zijn aan te passen:

  1. Control package 1: PLC + small monochrome touchpanel
    De PLC communiceert rechtstreeks met de sensoren, actuatoren en systeemcomponenten, zonder de aanwezigheid van een fieldbus protocol.
    Het systeem is te bedienen middels het eenvoudige ingebouwde monochrome touchpanel.


  2. Control package 2: PLC + fieldbus + color touchscreen panel
    De PLC communiceert met de sensoren, actuatoren en systeemcomponenten middels een fieldbus (bijv. Profibus)
    Het systeem is te bedienen middels het medium sized touchscreen kleuren panel. Dit controlesysteem biedt oa. de volgende mogelijkheden:

    - Service modus: beveiligde modus waarin zowel de procescomponenten als de vacuümcomponenten handmatig te bedienen zijn.
      Het is tevens mogelijk machine procesparameters te veranderen. (beperkte hardwarematige beveiliging)

    - Supervisor modus: beveiligde modus waarin de procescomponenten handmatig en de vacuümcomponenten alleen automatisch te bedienen   zijn. In deze modus is het mogelijk automatisch recepten te draaien, recepten aan te passen en gebruikers te beheren.
      (volledige hardwarematige beveiliging via de software)

    - User modus: beveiligde modus waarin de operator het systeem doorgaans bedient en recepten automatisch laat aflopen.
      (volledige hardwarematige beveiliging via de software)


  3. Control package 3: PLC + fieldbus + PC
    De PLC communiceert met de sensoren, actuatoren en systeemcomponenten middels een fieldbus (bijv. Profibus)
    Het systeem is te bedienen middels een 19" rack touch panel PC of standaard industriele PC ingebouwd in het 19" kabinet.
    Dit controlesysteem biedt minimaal dezelfde mogelijkheden als control package 2 en biedt verder de volgende extra mogelijkheden:

    - Betere graphics, met uiterlijk en zelfde gebruiksgemak als MS Windows.
    - Mogelijkheid tot meerdere en uitgebreidere gebruikersniveau's
    - Volledige handmatige of automatisch bediening; te specificeren per gebruikersniveau.
    - Comfortabelere datalogging mogelijkheden
    - Vrij recepten editen; tot nagenoeg oneindig veel processtappen per recept.
    - Mogelijkheid tot het aansturen van meer processysteemcomponenten
    - diverse andere vrij te programmeren software opties.


Substraat handling, heating en cleaning

  • standaard vlakke ronde substraattafel
  • 'sample platen' of palette
  • calotte (één of meerdere delen)

De UniCoat system zijn te voorzien van substraat (sample) back en front side heating door toepassing van verschillende technieken. Ten behoeve van plasma cleaning/etching en opppervlakte activering is een glow discharge unit of is een ionenbron, plasmabron en/of RF-bron inzetbaar. Voor maximalisatie van capaciteitsgebruik en/of extreme procescondities, is de UniCoat series leverbaar met handbediende of automatische loadlock of cassette naar cassette wafer/substraat robot handling systeem.



Thin Film Deposition systeemcomponenten en technieken

  • thermische verdampers: kleine en grote single crucible verdampers of multi-pocket versies.
  • low temp thermisch verdampen: OLED low temperature sources voor het opdampen van organische componenten.
  • electron beam verdampen: single of multi-pocket e-guns met verschillende vermogens.
  • sputter bronnen: (magnetron) sputterbronnen; rond van 2" tot 8" en rechthoekig inbouw en opbouw cathodes van verschillende afmetingen.
    t.b.v. DC, DC-pulsed of RF sputterprocessen.
  • ion beam assisted deposition: diverse ionenbron, plasmabron of RF-bron opties.
  • EEN COMBINATIE VAN BOVENGENOEMDE TECHNIEKEN.

Als laagdiktemeettechnieken zijn kwarts kristal of een optisch meetsysteem of een combinatie van beide technieken beschikbaar. Afhankelijk van de applicatie selecteren wij alleen één of meerdere thin film monitors of thin film controller met mogelijkheid tot codepositie.


Typische markten en applicaties:

  • (precision) optics, multilayer optical coatings
  • data storage
  • ophthalmics
  • semiconductor, optoelectronics, electronic components
  • solar cells / photovoltaic
  • decorative & wear (protective) coatings
  • OLED technology
  • metallization
  • general thin film depostion research & development