Algemeen
Wereldwijd levert Fergutec hoogwaardige LF en RF generatoren voor plasma applicaties in diverse uitvoeringen; standaard of specifiek geoptimaliseerd naar uw applicatie. Indien gewenst, door Fergutec compleet geïnstalleerd en geïntegreerd in uw machinebesturing.

Seren IPS L & R series zijn CE marked, Solid State, Microprocessor controlled RF generatoren, met Power Factor Corrected DC Switch Mode power supplies. Seren producten staan bekend om het eenvoudig kunnen programmeren van de interfacing, de betrouwbaarheid en gunstige prijsstelling. De producten zijn alom geaccepteerd door grote OEM klanten.

Typische applicaties (plasma excitation):

  • activation, etching and (reactive) sputter processes
  • bias sputter, plasma cleaning processes
  • PVD, PECVD processes
  • plasma polymerisation
  • plasma diffusion

Typische applicaties (induction heating):

  • hardening, annealing, tempering, soldering, melting, shrinking
  • inductive plasma (ICP), epitaxy
  • inductive evaporation

De brochures van de diverse series kunt u hieronder downloaden. Voor meer informatie, kunt u via het invulformulier bij ons de technische manuals van de diverse series opvragen.


Downloads R-series RF generatoren:

Downloads L-series LF generatoren:

Downloads AT-series auto matching units:


Vraag bij ons vrijblijvend een demo unit aan voor evaluatie in uw applicatie.

 Neem voor afwijkende wensen contact met ons op.

     
 

R-series RF generatoren kenmerken:

  • 100W - 10.000W
  • 17 - 40,68 Mhz.
  • CW & pulsing
  • Power Sampling
  • Agile Frequency Tuning
  • Match Presets
  • RS232 / 422 / 485 en Profibus
  • Dual Power Range
  • DC/RF Voltage Control
  • Master/Slave (CEXI)

L-series LF generatoren kenmerken:

  • 300W - 5.000W
  • 80 - 460 kHz.
  • CW & pulsing
  • Power Sampling
  • Agile Frequency Tuning
  • Match Presets
  • RS232 / 422 / 485 en Profibus
  • Dual Power Range
  • DC/RF Voltage Control
  • External Step-UP/Down Transformers

AT-series Matching Networks kenmerken:

  • 100 - 10,000W
  • 1,7 - 40,68 Mhz.
  • DC Probe standaard
  • Pulse Detector
  • Back Out Feature