Algemeen
Wereldwijd levert Fergutec hoogwaardige DC voedingen voor plasma applicaties in diverse uitvoeringen; standaard of specifiek geoptimaliseerd naar uw applicatie. De voedingen zijn leverbaar met enkelvoudige en meervoudige uitgangen. Indien gewenst, door Fergutec compleet geïnstalleerd en geïntegreerd in uw machinebesturing.

De kwaliteit van deze voedingen is de beste in de markt. De "Mean Time Between Failures (MTBF) is > 70.000 uur. Naast de uitstekende prijs/kwaliteit verhouding en de hoge betrouwbaarheid zijn ze ook bijzonder eenvoudig te bedienen.

De DC voedingen zijn voorzien van extreem snelle dynamische arc herkenning en arc onderdrukkingsvoorzieningen. Standaard leverbaar met vermogens van 0,5 tot 30kW, en parallele koppeling voor hogere vermogens tot 240kW. De voedingen zijn allen te verkrijgen met diverse uitgangsspanningen varierend tussen 400 en 1000V (of klantspecifiek op aanvraag) De voedingen zijn voorzien van geforceerde luchtkoeling of waterkoeling afhankelijk van uitvoering en vermogen.

De voedingen kunnen worden gebruikt in de modi: stroom geregeld, spanning geregeld, vermogen of 'joule mode' geregeld. De DC-voedingen zijn extern aan te sturen door diverse analoge I/O- of profibus interfaces.


Typische applicaties (DC & pulsed DC)

  • sputteren, reactive sputteren
  • pvd, bias sputteren
  • plasmanitreren
  • etsen
  • electroplating
  • plasma cleaning
  • oppervlakte-activering
  • ionenbronnen
  • neutralizers
  • elektromagneten

De sales brochures van de diverse series kunt u hieronder downloaden. Voor meer informatie, kunt u via het invulformulier bij ons de technische manuals van de diverse series aanvragen. Wij sturen u deze direct toe.

Vraag bij ons vrijblijvend een demo unit aan voor evaluatie in uw applicatie.

 Neem telefonisch contact met ons op of stuur een e-mail.

           
   

Algemene eigenschappen

  • 3.5 digit LED display voor weergave van spanning, stroom, vermogen, status indicatie, active regulation indicatie
  • schakelaar voor regulation karakteristieken (spanning, stroom en vermogen)
  • manuele bediening middels drukknoppen op het front paneel of remote bediening middels diverse interface-mogelijkheden
  • dynamische arc herkenning en onderdrukking
  • herkenning van plasma aanwezigheid
  • kortsluitingsbestendigheid en beveiliging, load free en load interruptie beveiliging
  • high voltage output veiligheidnormen volgens VDE en CE
 
   

DC Pulsed
Pulsed DC wint meer en meer aan populariteit vanwege de positieve eigenschappen van deze techniek.

Voor de DC pulse applicaties bieden we een serie geregelde pulse generatoren (RD-4000) welke enorme mogelijkheden toevoegen aan de DC plasma voedingen. Deze pulse generatoren werken naadloos samen de DC power supplies en vormen één zeer flexibel en robuust concept.

Met deze reeks pulse RD-400 generatoren is het mogelijk DC positief, DC negatief, symmetrisch of asymmetrisch unipolair positief, unipolair negatief of bipolair te pulsen. Beschikbare pulse power range modellen: 0-200kW, met een frequency bereik van 0,5-75 kHz. Afwijkende specificaties op verzoek.


Zie onderzijde van deze pagina voor specificaties en downloads.

 
 series GS 05 - series GS 30 (forced air cooled, active or passive front panel)  

 download sales brochure GS05-30
      
    klik hier en vraag via het invulformulier
       het technische manual aan.

type


GS 05
GS 10
GS 15
GS 20
GS 30

power
(kW)


0.5
1
1.5
2
3

output voltage (V)

400 - 1000
400 - 1000
400 - 1000
400 - 1000
400 - 1000

customer rating on request

dimensions


3.0 HU, 1/2 19" x 560mm
3.0 HU, 1/2 19" x 560mm
3.0 HU, 1/2 19" x 560mm
3.0 HU, 1/2 19" x 560mm
3.0 HU, 1/2 19" x 560mm

weight (kg)


11
11
12
12
12
 
                 
 series GS 60 - series 150 (forced air cooled, active or passive front panel)

 download sales brochure GS60-150
      
    klik hier en vraag via het invulformulier
       het technische manual aan.

type


GS 60
GS 80
GS 100
GS 120
GS 150

power
(kW)


6
8
10
12
15

output
voltage (V)


400 - 1000
400 - 1000
400 - 1000
400 - 1000
400 - 1000

customer rating on request

dimensions


3.0 HU, 19" x 570mm
3.0 HU, 19" x 570mm

3.0 HU, 19" x 570mm
3.0 HU, 19" x 570mm
3.0 HU, 19" x 570mm

weight (kg)


27
28
29
29
31

                 
 series GSW 150 - GSW 300 (water cooled, active or passive front panel)

 download sales brochure GSW
      
    klik hier en vraag via het invulformulier
       het technische manual aan.

type



GSW 100
GSW 150
GSW 200
GSW 250
GSW 300

Customer power rating on request
power
(kW)



10
15
20
25
30

parallel up to 240kW
output
voltage (V)



400 - 1000
400 - 1000
400 - 1000
400 - 1000
400 - 1000

customer rating on request
dimensions



3.0 HU, 19" x 700mm
3.0 HU, 19" x 700mm
3.0 HU, 19" x 700mm
3.0 HU, 19" x 700mm
3.0 HU, 19" x 700mm
weight (kg)



44
47
49
51
53
                 
 series GX 60 - GX 150 (water cooled, remote control only)
 

 download sales brochure GX60-150
      
    klik hier en vraag via het invulformulier
       het technische manual aan.

type


GX 50
GX 60
GX 80
GX 100
GX 120
GX 150
power
(kW)


5
6
8
10
12
15
output
voltage (V)


400 - 1000
400 - 1000
400 - 1000
400 - 1000
400 - 1000
400 - 1000

customer rating on request
dimensions


3.0 HU, 1/2 19" x 560mm
3.0 HU, 1/2 19" x 560mm
3.0 HU, 1/2 19" x 560mm
3.0 HU, 1/2 19" x 560mm
3.0 HU, 1/2 19" x 560mm
3.0 HU, 1/2 19" x 560mm
weight (kg)


21
21
23
23
24
25
                   
   series for ion beam sources (kaufmann en ECR)
 

 download sales brochure ion sources
      
    klik hier en vraag via het invulformulier
       het technische manual aan.

suitable for

accelerator
beam
cathode
discharge
neutralizer
general
general

type

GG 03
GG 12
GC 10
GDI 09
GIP
GD20
GD30

power (kW)

1000V / 30-300W
2000V / 200-1.2kW
35V / 1kW
150V / 900W
triple: 33V - 25V - 25V / 1kW
400-800V / 2kW
400-800V / 3kW

  RD400 advanced DC pulse generator solutions

 download RD400 brochure
 download RD400 manual
 download RD400 connection scheme

type



1000-20 up/bp

1000-60 up/bp

1000-100 up/bp

1000-150 up/bp

1000-200 up/bp


Specials

DC in
(kW)



0-12 kW


0-35 kW


0-60 kW


0-80 kW


0-120 kW


customized

DC pulsed
out (kW)



0-20 kW


0-60 kW


0-100 kW


0-150 kW


0-200 kW


customized

Available features:

  • 0,5-75 kHz pulse frequency range
  • DC positive mode
  • DC negative mode
  • Unipolar positive
  • Unipolar negative
  • Bipolar
  • Symmetric and Asymmetric operation

 

Check the brochure and other documentation
(see left) for more info